MTM-1510M金相显微镜

MTM-1510M金相显微镜用途：

MTM-1510M测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器，它具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜，以二维测量为主，也可作三维辅助测量。广泛应用于电子组件，精密模具，精密刀具，塑料，PCB加工方面，测镀膜厚度，手机玻璃等工业领域。

MTM-1510M金相显微镜特点：

1.X、Y、Z三轴0.5um分辨率；

2.具Z轴粗调/微调旋钮；

3.同轴表面光/底光量测；

4.内建偏光量测光学模块；

5.可量测透明材质纳米级高度差；

6.可选配白光纳米检测模组。

技术规格参数：

型号：MTM-1510M

工作台     金属台尺寸（mm）：210*160

               玻璃台尺寸（mm):354*228

               X、Y运动行程（mm）：150*100

X、Y、Z向分辨率（um):  0.5

X、Y坐标示值误差（um）： 2.5+L/100

外形尺寸（mm）：590*560*850

仪器重量：100kg

Z向行程（mm）：120

物镜放大倍数：5X 、10X 、20X 、50X

目镜放大倍数：10X

总放大倍数：50X-500X

物镜放大倍率误差：包括畸变在内的放大率误差：≦0.08%

透射照明光源：可调高亮度LED灯源

反射照明光源：可调高亮度LED灯源

单层透明膜厚度测量模组

高精度测量模式

厚度测量范围     100nm-300nm            300nm-500nm         500nm-3um

分辨率               5nm                              5nm                      7.5nm

快速测量模式

厚度测量范围        3um-20um

分辨率                  0.1um